质量流量计运用流体质量流量对振动管震荡的调制作用为原理。传感器由振动管（测量管）、信号检测器、振动驱动器、支撑结构和壳体组成。变送器以微处理器为核心，它向传感器提供驱动力，并将传感器测量的信号转换为质量流量信号，还有根据温度参数对质量流量和密度测量进行补偿、修正的功能，变送器输出电流信号或频率信号，可按一定的协议与DCS通讯。
质量流量计的优点：
热分布式可测量低流速微小流量；浸入式可测量低~中偏高流速，插入式更适合于大管径。
无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。
热分布式仪表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想气体的双原子气体，不*这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。
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